ALMATEC / アルマテック社（ドイツ）
半導体プロセス用ダイアフラムポンプ
電子材料や腐食性がある液体の移送に最適
特長
- 接液部に高純度PTFE-TFM採用
- メタルフリー（金属部品の使用なし）
- パーティクル発生は極小
- クラス100クリーンブースで組付け
- 高性能脈動防止ダンパー採用で脈動が極小
概略仕様
| 型 式 | FUTUR 10T | FUTUR 20T | FUTUR 50T | FUTUR 100T |
|---|---|---|---|---|
| 接続サイズ（FNPT） | 3/8″ | 1/2" | 1″ | 1-1/4″ |
| 最大吐出流量 (ℓ/min） | 10 | 20 | 50 | 100 |
| 最高使用温度（℃） | 200 | 200 | 130 | 130 |
| 最大使用圧力（MPa） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 自吸能力/ドライ時（m水柱） | 1 | 2.5 | 3.5 | 4 |
| 重量（kg） | 2.3 | 4.2 | 8.8 | 17.6 |
※最高使用温度は圧力条件により異なります
高性能 ポンプ一体型脈動防止ダンパー
- 自動調整機能により、最適な脈動防止効果を実現
- 高いフィルターろ過精度
- 一体型構造による省スペース実現
用途・事例
- 電子材料原料等、デリケートな液体の移送
- 半導体製造装置への搭載
- CMPスラリーの搬送
- レジストの搬送
- 高純度液体のフィルターろ過用途
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